半導體晶圓減薄機直驅方案 德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉臺

由于減薄機對轉臺精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉臺airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉臺重復精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達到100納米，且具有超低速度波動性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機系統(tǒng)解決方案，包含驅動器和軟件系統(tǒng)。

08月03日

半導體精密制造檢測方案 德瑪特氣浮旋轉和直線平臺

德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點。對于旋轉類檢測，如探針臺、對位轉臺，有氣浮旋轉平臺，對于直線類檢測，有氣浮直線平臺。氣浮直線平臺airDDLP系列，直線度±0.25~±4μm，重復精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測、高精度計量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學檢測和制造以及 MEMS/納米技術器件制造的嚴格要求。

08月02日

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺

德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達到1.5m×1m，國內直驅最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達2m/s，重復定位精度可達±0.5um。應用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設備）。

12月29日

[多圖] 半導體行業(yè)中適用的德瑪特直驅產品

09月01日 直驅電機 直線電機 DD馬達 半導體

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德瑪特短行程高速應用新產品直線執(zhí)行器DO系列

06月01日

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德瑪特推出新款音圈電機/薄型電機模組TH系列 實現(xiàn)超短行程的線性高精度控制

03月18日 音圈電機 薄型電機

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德瑪特無槽DD馬達，高精度無齒槽效應

采用德瑪特無槽直驅電機技術設計，無齒槽效應，“無”轉矩脈動，可以實現(xiàn)極其平滑的速度控制。 可以實現(xiàn)高精度和高重復精度的位置控制；無框設計，高功率密度，占用空間更??；大通孔便于通過電纜、光學器件、感測技術及其他系統(tǒng)元件……

11月19日

德瑪特直驅XY加工平臺

德瑪特直驅XY加工平臺，在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅動力傳輸至運動平臺，且無摩擦，可實現(xiàn)高速度和高加速度的快速加工。

11月19日

德瑪特高精度直驅XY氣浮平臺

?德瑪特雙導軌XY直線模組平臺，采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機模組組成，具有良好的剛性性能以及良好的定位精度，此外還有高速度，高加速度，零背隙，使用壽命長，維護成本低等一系列優(yōu)點……

11月19日

德瑪特高動態(tài)響應直驅轉臺HD140

德瑪特直驅轉臺HD140具有高精度、高動態(tài)響應的特點，適合高加工精度、高加工速度、小角度分度需求的場景，高度模塊化設計，維護簡單，穩(wěn)定性強。

11月10日