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半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)直驅(qū)方案德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

由于減薄機(jī)對轉(zhuǎn)臺(tái)精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達(dá)到100納米，且具有超低速度波動(dòng)性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機(jī)系統(tǒng)解決方案，包含驅(qū)動(dòng)器和軟件系統(tǒng)。

08月03日

半導(dǎo)體精密制造檢測方案德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線平臺(tái)

德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對于旋轉(zhuǎn)類檢測，如探針臺(tái)、對位轉(zhuǎn)臺(tái)，有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，對于直線類檢測，有氣浮直線平臺(tái)。氣浮直線平臺(tái)airDDLP系列，直線度±0.25~±4μm，重復(fù)精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測、高精度計(jì)量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。

08月02日

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺(tái)

德瑪特超大氣浮運(yùn)動(dòng)，臺(tái)面尺寸達(dá)到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺(tái)之一，運(yùn)動(dòng)直線精度高，速度波動(dòng)小，可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗(yàn)，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。

12月29日

[多圖] 半導(dǎo)體行業(yè)中適用的德瑪特直驅(qū)產(chǎn)品

德瑪特短行程高速應(yīng)用新產(chǎn)品直線執(zhí)行器DO系列

06月01日

德瑪特推出新款音圈電機(jī)/薄型電機(jī)模組TH系列實(shí)現(xiàn)超短行程的線性高精度控制

03月18日音圈電機(jī) 薄型電機(jī)

德瑪特?zé)o槽DD馬達(dá)，高精度無齒槽效應(yīng)

采用德瑪特?zé)o槽直驅(qū)電機(jī)技術(shù)設(shè)計(jì)，無齒槽效應(yīng)，“無”轉(zhuǎn)矩脈動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)極其平滑的速度控制。可以實(shí)現(xiàn)高精度和高重復(fù)精度的位置控制；無框設(shè)計(jì)，高功率密度，占用空間更?。淮笸妆阌谕ㄟ^電纜、光學(xué)器件、感測技術(shù)及其他系統(tǒng)元件……

11月19日