氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái) ARTUD80-65

高精度氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，采用德瑪特零齒槽力直驅(qū)電機(jī)，選用氣浮軸承，端徑跳低至70nm，重復(fù)定位精度高達(dá)±0.75"?？梢杂糜谙癜雽?dǎo)體行業(yè)劃片、晶圓檢測(cè)等各種超高精度工作場(chǎng)景。

06月06日

端跳70納米 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT系列

德瑪特氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用無齒槽效應(yīng)電機(jī)芯，無軸承摩擦磨損，具備超高的速度穩(wěn)定性，納米級(jí)端徑跳。適合半導(dǎo)體行業(yè)劃片、減薄、涂膠、光刻、光學(xué)檢測(cè)等超高精度加工場(chǎng)景。

07月20日 轉(zhuǎn)臺(tái) 氣浮 高精度

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺(tái)

德瑪特超大氣浮運(yùn)動(dòng)，臺(tái)面尺寸達(dá)到1.5m×1m，國(guó)內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺(tái)之一，運(yùn)動(dòng)直線精度高，速度波動(dòng)小，可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗(yàn)，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。

12月29日

德瑪特氣浮直線平臺(tái)

德瑪特氣浮直線平臺(tái)，主要用于精密檢測(cè)，行程2米，最大速度可達(dá)2米/秒，在長(zhǎng)行程下依然能保持高精度，重復(fù)精度達(dá)到±0.6um，使之在高精度要求的行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景。例如在半導(dǎo)體行業(yè)適用于晶圓檢測(cè)；在醫(yī)療器械制造中，可以讓零部件尺寸達(dá)到非常高的精度，表面光潔度好；在航空航天領(lǐng)域，要求機(jī)床具有高速加工和高精度定位能力，以滿足輕量化和結(jié)構(gòu)優(yōu)化的需求。

10月25日 平臺(tái) 直驅(qū)

德瑪特高精度直驅(qū)XY氣浮平臺(tái)

?德瑪特雙導(dǎo)軌XY直線模組平臺(tái)，采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機(jī)模組組成，具有良好的剛性性能以及良好的定位精度，此外還有高速度，高加速度，零背隙，使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)……

11月19日

[視頻] 德瑪特高精度直驅(qū)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

在芯片等高端制造的應(yīng)用場(chǎng)景，少不了高精度轉(zhuǎn)臺(tái)，通過高精度定位的旋轉(zhuǎn)，來實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的檢測(cè)、加工或質(zhì)量控制。德瑪特推出全新的氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)NXB系列，進(jìn)一步拓展了產(chǎn)品的應(yīng)用場(chǎng)景，大幅提升了在高端智能裝備市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)力。

04月23日 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) 直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)