專為高精度、小尺寸材料對(duì)位需求設(shè)計(jì)的mini版對(duì)位糾偏平臺(tái)，機(jī)身高僅52mm，長(zhǎng)寬僅65mm。結(jié)構(gòu)緊湊、輕量化設(shè)計(jì)；高精度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)。直線軸重復(fù)精度±0.5μm，旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)精度±1.3"。全自由度精密調(diào)整，能完成各種精細(xì)糾偏任務(wù)。