用于晶圓糾偏的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺。高精度，重復(fù)定位精度±3角秒，軸向跳動與徑向跳動均為5μm。這種弧形設(shè)計，模塊化與靈活性高，可以通過拼接多個扇段來實(shí)現(xiàn)不同的運(yùn)動范圍；采用無鐵芯設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕且厚度薄，總重量僅為5.19kg。