高精度氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，采用德瑪特零齒槽力直驅(qū)電機(jī)，選用氣浮軸承，端徑跳低至70nm，重復(fù)定位精度高達(dá)±0.75"。體積小，精度高?？梢杂糜诟鞣N超高精度工作場(chǎng)景，像半導(dǎo)體行業(yè)劃片、晶圓檢測(cè)等。