高精度大推力Z軸直線電機。直線度5μm，重復精度0.3μm，定位精度6μm；小行程大推力，有效行程30mm，最大推力692.4Nm，額定負載13kg。適合半導體行業(yè)的點膠機、貼片機等對精度有高要求的設備，廣泛用于半導體檢測，3c電子零部件加工，激光切割等等。