用在半導(dǎo)體設(shè)備的高速運(yùn)行直線模組。高速度、高加速度，單電機(jī)最大加速度1.6g；體積小，結(jié)構(gòu)緊湊；雙電機(jī)驅(qū)動，2倍推力，能夠滿足高頻往復(fù)運(yùn)動工況，提高加工效率。