高速運行直線模組 用在半導體設(shè)備的高速運行直線模組。高速度、高加速度,單電機最大加速度1.6g;體積小,結(jié)構(gòu)緊湊;雙電機驅(qū)動,2倍推力,能夠滿足高頻往復(fù)運動工況,提高加工效率。 05月10日
音圈電機模組(恒力測微儀) 這款音圈電機模組,主要用于新能源產(chǎn)品的尺寸檢測,采用絕對式高精度編碼器反饋,分辨率高達2μm;儀器內(nèi)部集成了壓力傳感器,可以在控制器內(nèi)部執(zhí)行閉環(huán)力矩控制功能。 05月10日
Z軸直線電機 高精度大推力Z軸直線電機。直線度5μm,重復(fù)精度0.3μm,定位精度6μm;小行程大推力,有效行程30mm,最大推力692.4Nm,額定負載13kg。適合半導體行業(yè)的點膠機、貼片機等對精度有高要求的設(shè)備,廣泛用于半導體檢測,3c電子零部件加工,激光切割等等。 05月10日
直線模組LHA140-L11940 12米長的直線模組。高速度,運行速度3m/s,加速度0.9g;大推力,最大推力966.3N。像這么長的直線模組一般是用在自動化生產(chǎn)線做搬運的。 05月09日
ZR軸執(zhí)行器 輕薄、大推力、高精控力、高精定位、高行程分辨率的ZR軸執(zhí)行器。機身厚度18mm,連續(xù)推力17.95N,最大推力42.8N,有效行程25mm;采用雙軸集成化解決方案,解決了Z軸自重負載問題,能高速、精準完成元件Pick & Place、貼裝等動作;具有超高循環(huán)壽命,可實現(xiàn)高效生產(chǎn)。 05月09日
直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(晶圓糾偏) 高精度,重復(fù)定位精度±3角秒,軸向跳動與徑向跳動均為5μm。弧形設(shè)計,模塊化與靈活性高,可以通過拼接多個扇段來實現(xiàn)不同的運動范圍;采用無鐵芯設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕且厚度薄,總重量僅為5.19kg。 05月09日
全靜壓直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(工作臺面直徑1米6) 全靜壓直驅(qū)轉(zhuǎn)臺,工作臺面直徑1米6。全靜壓軸承,直驅(qū)同步轉(zhuǎn)臺電機,端徑跳精度高達1μm,精度穩(wěn)定性好。大扭矩、高速度、重負載,峰值扭矩24000Nm,主軸狀態(tài)轉(zhuǎn)速最高能達到460rpm,最大承重8t。 05月09日
德瑪特直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺DDV080 臺面直徑僅80mm,中空為20mm;高精度,重復(fù)精度±2";最大轉(zhuǎn)矩可達3.42Nm;最高轉(zhuǎn)速可達240rpm。常用于輕載、對空間要求苛刻的半導體、3C、醫(yī)療設(shè)備制造等行業(yè)。 05月08日
糾偏旋轉(zhuǎn)平臺DDA210 薄型高動態(tài)響應(yīng)直驅(qū)電機,主要是用于電子檢測設(shè)備、精密定位平臺和糾偏平臺。高精度,速度波動小,重復(fù)精度達到了±1",定位精度為±2",端徑跳也是微米級。超大中空尺寸設(shè)計為復(fù)雜系統(tǒng)集成提供無限可能。 05月08日